激光直接成像系统CDI-8T

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主要特性

标配一键自动料号生成系统,节省人力及时间

具备智能报表输出功能,可实现智能化管理

支持分区对位和分区涨缩,实现多拼同台生产

支持按 panel / piece自动生成唯一的追溯码(一维 / 二维码)

基板 最大基板尺寸 635x810mm
图形成像尺寸 Max:635x810mm
Min: 200x200mm
基板厚度 0.05-5mm
解析度 最小解析线宽&线距 30 μm(显影后)
量产解析线宽&线距 50 μm(显影后)
线宽精度 ±10%
景深 ±300μm
层间对位精度 25μm
外层对位精度 ±12.5μm
重复精度(3σ) 3μm
制成 成像材料 传统高感干膜或DI专用干膜
光源频谱 405nm(395 至 415nm)
适用工序 内层、外层
推荐应用 硬板、软板、软硬结合板
参考产能 参考工艺条件 图像尺寸&能量 535mm×610mm &20mj/cm²@300mm/s
曝光时间 ( 含对位 ) 12s/side
过板量
(片/小时
单机 150
双机连线 300
用户界面 资料输入 Gerber 274X, Gerber 274D; ODB++ (选配)
装机需求 电源供应 AC380V-50HZ-7KW
冰水供应 水压 1~2 bars
流量 40L/min @ 10℃
设备重量 ≈4650kgs
外形尺寸(不含塔灯) 2880x1920x1720mm
环境温度/湿度 22℃±2℃,40%-60%(不结露)