激光直接成像系统CDI-6XT

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主要特性

标配一键自动料号生成系统,节省人力及时间

具备智能报表输出功能,可实现智能化管理

支持分区对位和分区涨缩,实现多拼同台生产

支持按 panel / piece自动生成唯一的追溯码(一维 / 二维码)

基板 最大基板尺寸 550x650mm (双台面分布作业) 1260x735mm (双台面分布作业)
图形成像尺寸 Max:550x650mm
Min: 200x200mm
Max:1260x735mm
Min: 200x200mm
基板厚度 0.05-5mm 0.5-3.2mm
解析度 最小解析线宽&线距 25 μm(显影后) 25 μm(显影后)
量产解析线宽&线距44 40 μm(显影后) 60 μm ~ 100 μm(显影后)
线宽精度 ±10% ±10%
景深 ±150μm ±150μm
层间对位精度 20μm (单台面) 40 μm (双台面同步)
外层对位精度 ± 10μm (单台面) ± 20μm (双台面同步)
重复精度(3σ) 3μm (单台面) 6μm (双台面同步)
制成 成像材料 传统高感干膜或DI专用干膜
光源频谱 405nm(395 至 415nm)
适用工序 内层、外层
推荐应用 硬板
参考产能 参考工艺条件 图像尺寸&能量 635mm×762mm &20mj/cm²@300mm/s
1260mm×610mm &20mj/cm²@300mm/s
曝光时间 ( 含对位 ) 13s/side 30s/side
过板量
(片/小时
单机 135 60
双机连线 270 N/A
用户界面 资料输入 Gerber 274X, Gerber 274D; ODB++ (选配)
装机需求 电源供应 AC380V-50HZ-16KW
冰水供应 水压 1~2 bars
流量 40L/min @ 10℃
设备重量 ≈4500kgs ≈4600kgs
外形尺寸(不含塔灯) 2880x1920x1720mm
环境温度/湿度 22℃±2℃,40%-60%(不结露)